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Ferrotec(中国)硅熔接和硅精制品致力于为半导体硅片处理工艺中提供理想的硅片承载工具,减少硅片金属污染,错位等缺陷,以及为半导体前沿工艺提供突破性解决方案。主要为硅片高温处理和LPCVD沉积工艺,提供高纯度的多晶硅舟,保温筒,喷射管等;为半导体蚀刻机提供硅环,showerhead等产品。
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